高效过滤器的完整性及其安装的密封性通过安装在洁净室的高效过滤器的PAO泄漏检测来确认。

一、测试要求

1.1 测试方法：PAO检漏法

1.2 检测范围：公司所有安装高效过滤器的洁净室高效过滤器合格标准，包括生产车间、实验室等洁净区的高效过滤器，必须进行现场检漏。

1.3 工作原理：PAO气溶胶在被检测的高效过滤器的迎风面产生作为尘源，由背风面的光度计进行采样检测。含尘气体产生的散射光通过光电效应和线性放大转化为电能，微安计快速显示采集到的空气样品通过光度计的扩散室。由于粒子膨胀引起的光强不同，光度计可以通过测量这个光强来测量气溶胶的相对浓度。高效过滤器的穿透率采用PAO检漏法测量高效过滤器合格标准，即光度计直接显示穿透率读数。

1.4 测试材料和仪器

气溶胶发生器（TDA-5C）、气溶胶光度计（TDA-2H）、氮气瓶、PAO

1.5。检漏范围

1.5.1 过滤器滤材

1.5.2 过滤器滤材与其框架内部的连接

1.5.3 滤框垫片与滤组支撑架之间

1.5.4 支撑架与墙壁或天花板之间

2. 测试状态和先决条件

2.1。静止的

2.2. 风量/风速测试已完成，结果符合要求；

3、合格标准：被检高效过滤器测得的穿透率最大值不得大于“出厂合格穿透率”的2倍。（“出厂合格率”可根据被检高效过滤器铭牌上标注的过滤效率换算）

3.1 k=(1-α)×100%

式中：k----出厂合格率。

α----铭牌上标注的过滤效率。

3.2. 注：检测前需填写《高效过滤器检漏记录》相关记录。

4、检测方法：

4.1 准备工作：拆下高效过滤器的扩散板，清洁箱体和框架，避免灰尘堆积干扰检测。准备好氮气瓶及相关连接管。

4.2 气溶胶烟雾的发生：用外径1/4的塑料管将气溶胶发生器的惰性气体进口与装有调压阀的氮气瓶的出口连接起来。用塑料管将气溶胶发生器的喷嘴与空气净化系统风机柜的中效预留喷嘴相连。按下“TDA-5C气溶胶发生器”通电加热，使温度达到393.3°C-407.4°C。打开喷嘴控制阀，打开氮源及其控制阀，调节气溶胶烟雾的输出量。

4.3 参数设置：气溶胶光度计初始化，0%参考标准值设置。在对每一台高效过滤器进行扫描前，先进行100%的参考检查，将采样管街上预留的DOP检测孔一端连接上游（高效过滤器进风侧）采样口，另一端连接气溶胶光度计。打开并测量上游气溶胶浓度。调节气溶胶发生器输出阀的开闭度，直至确认上游浓度达到10-20ug/L，此基数设为100%。

4.4 根据《TDA-2H气溶胶光度计标准操作规程》和《TDA-5C气溶胶发生器操作规程》调整气溶胶发生器和气溶胶光度计。

4.5 光度计扫描：用光度计的采样头对高效过滤器的整个工作面（包括过滤器与框架之间、框架与框架之间、框架与静压箱之间）进行扫描。扫描时，采样头与过滤器的距离约为2-4cm，速度约为3-5cm/s。扫描时，在一条直线上来回进行，线条要重叠。在检测过程中，随时观察并记录采样头或光度计面板上的读数。注意：在扫描过程中避免灰尘堆积在箱体上，特别是采样头不能接触高效风口箱或过滤器框架。

5、检测结果记录：将各洁净室高效过滤器测得的穿透率数据记录在《高效过滤器检漏记录》中

6、结果分析：

检查完毕后，对检查情况进行总结分析，形成《高效过滤器检漏结果报告》，必须注明：本次检漏已对安装的高效过滤器进行了每一次检漏。车间级区域的房间，测试数据证明： 该区域安装的高效过滤器的完整性和密封性；列举所有测试过的高效过滤器对应的结果来判断：

符合相关标准要求，可投入使用；

部分高效过滤器泄漏，需要更换重新检测；

高效过滤器和与静压箱连接的框架部分泄漏，需要在采取相应密封措施后拆卸重新安装或重新测试。

7、检测频率

7.1 安装或更换高效过滤器时应进行检查

7.2 正常使用情况下，至少每年检测一次。