一、iEDX-150T(S)薄金镀层测厚仪主要参数:
1、多镀层分析,可分析镀层1~5层(不含基材);
2、测试示值:0.001 μm,最薄可测厚度为0.0125μm;
3、元素分析范围从铝(Al)到铀(U);
4、测量时间:10~30秒可选;
5、SDD探测器,能量分辨率为125eV;
6、探测器Be窗0.5mil(12.7μm);
7、微焦X射线管50kV/1mA,钼,铑靶(高配微焦钼靶);
8、标配6个准直器及多个滤光片,且自动切换;
9、XYZ三维全自动移动平台,荷载最*大为5公斤;
10、高清CCD摄像头(200万像素),准确监控位置;
11、多变量非线性去卷积曲线拟合;
12、高性能FP/MLSQ分析;
13、仪器尺寸:618×525×490mm;
14、样品台尺寸:230×220mm;
15、样品台移动范围:前后左右各80mm、高度90mm;
16、样品仓尺寸:395×400×102mm。
二、图谱界面:
1、软件支持无标样分析;
2、宽大分析平台和样品腔;
3、集成了镀层分析界面和合金成份分析界面;
4、采用多种光谱拟合分析处理技术;
5、镀层测厚分析精度可达到0.001μm。
三、分析报告结果:
1、直接打印分析报告;
2、报告可转换为PDF,EXCEL格式。
四、iEDX-150T(S)薄金镀层测厚仪样品分析图谱:
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