在选择真空镀膜设备的抽气泵机组时，可选用由液环真空泵、滑阀机械泵和旋片机械泵组成的罗茨真空泵机组作为罗茨真空泵的前级。 该型泵机组不仅适用于真空镀膜行业，已广泛应用于各个行业和领域。 如食品、真空冶金、轻工、航空、石化、焊接、热处理等行业。 其抽速范围为30L/s-2500L/s广东真空泵，工作压力范围为10??Pa-10?Pa。

本文主要依据罗茨真空泵机组标准（JB/T6921-93），对真空镀膜设备选用罗茨泵机组的相关技术要求和标准进行说明。

1、在用户遵守真空泵机组运输、安装、使用、贮存和维护规范，且使用时间在泵机组制造厂交货之日起一年内6个月内的前提下，当罗茨泵组因制造工艺问题不能正常泵送时，泵组生产厂家应免费为用户修理或更换相应的零部件。

2、保持真空泵机组表面漆层清洁，对部分外露作业和紧固部位应进行防锈处理；

3、系统的管路部件需要在泵组装配时进行清洗。 真空管道应在0.25MPa-0.40MPa的压力环境下进行气压试验，保压时间为15分钟，期间不得漏气；

4、控制电气系统要求安全可靠，具有自动保护连锁功能；

5、罗茨泵机组中各泵所需冷却液或水环泵工作液的供给管路系统需配备断液报警控制装置；

6、需要保护泵的装置，防止真空泵过载，防止工作液倒喷或倒流的装置；

7、在极限真空压力下可连续运行1小时，在此期间真空泵不会出现故障；

8、运行平稳，确保运行时无明显振动，主机架应可靠、牢固；

9、机组提取效率应符合相关技术要求；

10、0.5小时后主泵（罗茨泵）极限压力要求应符合相关标准要求；

11、泵组允许在温度为5?C-40?C的工作和生活环境中运行；

12、整个泵组的设计应考虑到当一台泵损坏时，可以方便地更换；

13、各泵组的真空泵必须按相应的标准制造广东真空泵，并能通过制造厂的检验；

14、机组应符合罗茨真空泵机组标准（JB/T6921-93），按规定程序认可的图纸和工艺制造。

广东振华科技的真空镀膜设备采用罗茨泵机组。 每台真空泵出厂前均需通过合格检验，并附上产品合格证。 其试验方法和检验规则要求较多。 单位检验方式包括出厂检验和型式检验。 出厂检验是必要的，而型式检验是在有新产品试设计鉴定，或真空泵结构、工艺、材料等生产后发生较大变化，或产品停产较长时间后恢复生产时需要进行的。 term 是的，一般来说，在生产批次固定的情况下，每年抽查一到两个单位。 此外，如果国家质检总局提出进行型式检验，也需要进行型式检验。